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用于光譜分析的激光裝置，由激光器、激光電源、顯微鏡、CCD監視系統組成。從激光器發出的光，通過顯微物鏡聚焦，將光束聚焦于分析樣品上，樣品表面吸收激光能量，強烈的光熱效應使物質熔融揮發，形成激光等離子體，再通過光電接收裝置進行光譜分析。


　　我們所用激光器為NDZ-10型釹玻璃激光器，激光波長為1.06um；輸出形式為單次脈沖發射，輸出能量從0到25J可調，脈沖寬度為0.7ms。小能量的連續可調諧He-Ne激光器為指示器，其光束與釹玻璃激光器的光束同路，用于指示激光方位，保證激光每次都作用于不同的樣品位置，從而在一定程度上減小人為誤差。


　　CCD監視系統由攝像物鏡、高分辨率的CCD和9英寸監視器組成。配合He－Ne激光器，瞄準激光柬和激光作用于樣品的位置，并監視整個工作過程。